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プラズマプロセス技術
貸出可
プラズマ・核融合学会/編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4
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帯出区分
状態
本館(和歌山市)
閲覧室
/501.4/プラ/
323479428
一般
貸出可
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資料詳細
タイトル
プラズマプロセス技術
副書名
ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
言語
日本語
著者
プラズマ・核融合学会
/編
出版者
森北出版
出版年
2017.1
ページ数
7,273p
大きさ
22cm
一般件名
材料科学
,
プラズマ物理学
NDC分類(9版)
501.4
内容紹介
超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ISBN
4-627-77561-9
ISBN13桁
978-4-627-77561-9
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