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半導体工場のすべて 貸出可

菊地 正典／著 -- ダイヤモンド社 -- 2012.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
紀南(田辺市) 書庫C /549.8/ｷｸ/ 322453473 一般 貸出可 在庫

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タイトル 半導体工場のすべて 
副書名 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで
言語 日本語
著者 菊地 正典 ／著  
出版者 ダイヤモンド社
出版年 2012.8
ページ数 235p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 情報化の進んだ現代社会を根底で支えるために不可欠な半導体。最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。
ISBN 4-478-01728-9
ISBN13桁 978-4-478-01728-9
著者紹介 1944年樺太生まれ。東京大学工学部物理工学科卒業。(株)半導体エネルギー研究所顧問。著書に「最新半導体のすべて」「図解でわかる電子回路」など。

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