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はじめての半導体ドライエッチング技術 ( 現場の即戦力 ) 貸出可

野尻 一男／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /549.8/ﾉｼﾞ/ 321787376 一般 貸出可 在庫

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術 
叢書名 現場の即戦力
言語 日本語
著者 野尻 一男 ／著  
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数 8,162p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
ISBN 4-7741-4940-0
ISBN13桁 978-4-7741-4940-0
著者紹介 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。

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