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はじめての半導体製造装置 ( 現場の即戦力 ) 貸出可

前田 和夫／著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 閲覧室 /549.8/ﾏｴ/ 321742272 一般 在庫

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タイトル はじめての半導体製造装置 
叢書名 現場の即戦力
言語 日本語
著者 前田 和夫 ／著  
出版者 技術評論社
出版年 2011.8
ページ数 11,249p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、21世紀の半導体製造装置なども紹介する。
ISBN 4-7741-4750-5
ISBN13桁 978-4-7741-4750-5
著者紹介 横浜国立大学工学部化学工学科卒業。工学博士。(株)半導体プロセス研究所設立。米国SEMI(半導体装置材料協会)よりSEMMY賞授与。2008年逝去。

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