和歌山県立図書館
トップメニュー
資料検索
資料紹介
利用案内
Myライブラリ
レファレンス
トップメニュー
>
キーワード検索
本サイトにはJavaScriptの利用を前提とした機能がございます。
お客様の環境では一部の機能がご利用いただけない可能性がございますので、ご了承ください。
資料詳細
詳細蔵書検索
ジャンル検索
1 件中、 1 件目
薄膜工学
貸出可
金原 粲/監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549.8
新着図書案内
予約かごへ
本棚へ
所蔵
所蔵は
1
件です。現在の予約件数は
0
件です。
所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
本館(和歌山市)
書庫H
/549.8/ハク/
321732992
一般
貸出可
在庫
ページの先頭へ
資料詳細
タイトル
薄膜工学
言語
日本語
著者
金原 粲
/監修,
吉田 貞史
/編著,
近藤 高志
/編著,
日本学術振興会薄膜第131委員会
/編集企画
出版者
丸善出版
出版年
2011.6
ページ数
12,295p
大きさ
21cm
一般件名
薄膜
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN
4-621-08414-4
ISBN13桁
978-4-621-08414-4
ページの先頭へ