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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ( 図解入門 ) 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2010.5 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /549.8/ｻﾄ/ 321639536 一般 在庫

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 
副書名 製造装置の全体を俯瞰する
叢書名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
言語 日本語
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版者 秀和システム
出版年 2010.5
ページ数 231p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN 4-7980-2610-7
ISBN13桁 978-4-7980-2610-7
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。

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