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プラズマ/プロセスの原理
貸出可
Michael A.Lieberman/著 -- 丸善 -- 2010.1 -- 427.6
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請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
本館(和歌山市)
書庫G
/427.6/リバ/
321606568
一般
貸出可
在庫
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資料詳細
タイトル
プラズマ/プロセスの原理
言語
日本語
著者
Michael A.Lieberman
/著,
Allan J.Lichtenberg
/著,
堀 勝
/監修,
佐藤 久明
/訳
出版者
丸善
出版年
2010.1
ページ数
29,612p
大きさ
26cm
一般件名
プラズマ物理学
NDC分類(9版)
427.6
内容紹介
半導体製造装置において使用される弱電離、非平衡プラズマに焦点を絞り、プラズマとプラズマ・プロセスに関する解析方法を基礎から応用まで原理的、解析的、系統的に解説。また、解析結果の適用方法を、多くの例題で提示。
ISBN
4-621-08223-2
ISBN13桁
978-4-621-08223-2
著者紹介
カリフォルニア大学大学院バークレー校電気工学科教授。
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