權田 俊一/編集 -- 丸善 -- 2009.11 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 閲覧室 /549.8/ハン/1 321581993 一般 貸出可 在庫

資料詳細

タイトル 半導体デバイスシリーズ  1
言語 日本語
著者 權田 俊一 /編集, 谷口 研二 /編集  
出版者 丸善
出版年 2009.11
ページ数 17,227p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 ナノスケールVLSIデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法を解説する。ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題をまとめたテキスト。
ISBN 4-621-08208-9
ISBN13桁 978-4-621-08208-9
著者紹介 大阪大学名誉教授。