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オプティカルリソグラフィー ( フィールドガイド ) 貸出可

Chris A.Mack／著 -- オプトロニクス社 -- 2008.9 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /549.7/ﾏﾂ/ 316524636 一般 在庫

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タイトル オプティカルリソグラフィー 
叢書名 フィールドガイド
言語 日本語
著者 Chris A.Mack ／著, 木下 博雄 ／訳  
出版者 オプトロニクス社
出版年 2008.9
ページ数 12,133p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー
内容紹介 光技術の関係者に特に関心の高い技術を、基礎から応用面までわかりやすく解説した技術書。光学の基礎からイメージング技術、評価手法まで、リソグラフィーを学問的に体系づけて紹介する。
ISBN 4-902312-33-1
ISBN13桁 978-4-902312-33-1

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