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薄膜ハンドブック
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日本学術振興会薄膜第131委員会/編 -- オーム社 -- 2008.3 -- 549.8
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所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
本館(和歌山市)
参考図書
R/549.8/ハク/
321070005
一般
貸出不可
在庫
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資料詳細
タイトル
薄膜ハンドブック
言語
日本語
著者
日本学術振興会薄膜第131委員会
/編
出版者
オーム社
出版年
2008.3
ページ数
17,1235p
大きさ
22cm
一般件名
薄膜-便覧
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
薄膜の基礎事項と周辺技術も含めて網羅的に取り上げた「基礎編」と、応用する薄膜の性質・機能で分類する「応用編」で編集したハンドブック。薄膜応用分野の多様化に対応した第2版。
ISBN
4-274-20519-4
ISBN13桁
978-4-274-20519-4
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