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センサ・マイクロマシン工学 ( EE text ) 貸出可

藤田 博之／編著 -- オーム社 -- 2005.10 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /501.2/ﾌｼﾞ/ 320705726 一般 在庫

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タイトル センサ・マイクロマシン工学 
叢書名 EE text
言語 日本語
著者 藤田 博之 ／編著  
出版者 オーム社
出版年 2005.10
ページ数 8,209p
大きさ 26cm
一般件名 センサ , マイクロマシン
内容紹介 センサとマイクロマシンに関して、その動作原理やつくり方からさまざまな応用に至るまでをわかりやすくまとめた教科書。センサとマイクロマシンをつくる基盤技術、半導体技術を拡張した微細加工法についても述べる。
ISBN 4-274-20134-1
著者紹介 東京大学大学院電気工学専門課程博士課程修了。工学博士。東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター長教授。

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