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MEMSのはなし ( Science and technology ) 貸出可

前田 龍太郎／編著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.1 -- 530

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /530/ﾏｴ/ 320598659 一般 在庫

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タイトル MEMSのはなし 
叢書名 Science and technology
言語 日本語
著者 前田 龍太郎 ／編著, 池原 毅 ／著, 小林 健 ／著, 単 学伝 ／著  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.1
ページ数 6,126p
大きさ 19cm
一般件名 マイクロマシン
NDC分類(9版) 530
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
ISBN 4-526-05404-6
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。

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