S.M.ジィー/著 -- 産業図書 -- 2004.3 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館 書庫H /549.8/シ/ 320307176 一般 利用可 在庫

資料詳細

タイトル 半導体デバイス 
副書名 基礎理論とプロセス技術
著者 S.M.ジィー /著, 南日 康夫 /訳, 川辺 光央 /訳, 長谷川 文夫 /訳  
出版者 産業図書
出版年 2004.3
ページ数 499p
大きさ 27cm
一般件名 半導体
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。
ISBN 4-7828-5550-8