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はじめての半導体ナノプロセス ( ビギナーズブックス 32 ) 貸出可

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 2004.2 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /549.8/ﾏｴ/ 320288392 一般 在庫

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タイトル はじめての半導体ナノプロセス 
叢書名 ビギナーズブックス
著者 前田 和夫 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 2004.2
ページ数 239p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。
ISBN 4-7693-1225-3

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