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真空ハンドブック 禁帯出

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 --

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 参考図書 R/534.9/ｼﾝ/ 320250640 一般 貸出不可 在庫

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タイトル 真空ハンドブック 
著者 アルバック ／編  
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
一般件名 真空技術-便覧
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ISBN 4-274-08727-1
累積注記 付:表(4枚)

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