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はじめての半導体リソグラフィ技術 ( ビギナーズブックス 29 ) 貸出可

岡崎 信次／著 -- 工業調査会 -- 2003.6 -- 549.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 書庫H /549.7/ﾊｼﾞ/ 320243363 一般 貸出可 在庫

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タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術 
叢書名 ビギナーズブックス
著者 岡崎 信次 ／著, 鈴木 章義 ／著, 上野 巧 ／著  
出版者 工業調査会
出版年 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
一般件名 リソグラフィー , 半導体
NDC分類(9版) 549.7
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
ISBN 4-7693-1224-5

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