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半導体製造装置用語辞典 禁帯出

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1994.11 -- 549.8

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本館(和歌山市) 書庫H R/549.8/ﾊﾝ/ 314664764 一般 貸出不可 在庫

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タイトル 半導体製造装置用語辞典 
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1994.11
ページ数 486p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>
ISBN 4-526-03613-7

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