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半導体製造装置用語辞典 未所蔵

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 --

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タイトル 半導体製造装置用語辞典 
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
ISBN 4-526-02987-4

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