和歌山県立図書館
トップメニュー
資料検索
資料紹介
利用案内
Myライブラリ
レファレンス
トップメニュー
>
キーワード検索
本サイトにはJavaScriptの利用を前提とした機能がございます。
お客様の環境では一部の機能がご利用いただけない可能性がございますので、ご了承ください。
資料詳細
詳細蔵書検索
ジャンル検索
1 件中、 1 件目
半導体製造装置用語辞典
禁帯出
日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 -- 549.8
新着図書案内
本棚へ
所蔵
所蔵は
1
件です。現在の予約件数は
0
件です。
所蔵館
所蔵場所
請求記号
資料コード
資料区分
帯出区分
状態
本館(和歌山市)
書庫H
/549.8/ハン/R
313956054
一般
貸出不可
在庫
ページの先頭へ
資料詳細
タイトル
半導体製造装置用語辞典
著者
日本半導体製造装置協会
/編
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1991.9
ページ数
419p
大きさ
22cm
一般件名
半導体-辞典
NDC分類(9版)
549.8
内容紹介
1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
ISBN
4-526-02987-4
ページの先頭へ