日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 1991.9 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館 書庫H /549.8/ハン/R 313956054 一般 レファ用 在庫

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典 
著者 日本半導体製造装置協会 /編  
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
一般件名 半導体-辞典
NDC分類(9版) 549.8
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
ISBN 4-526-02987-4