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CVDハンドブック 禁帯出

化学工学会／編集 -- 朝倉書店 -- 1991.6 -- 571.6

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料コード 資料区分 帯出区分 状態
本館(和歌山市) 参考図書 R/571.6/ｼｳﾞ/R 313933491 一般 貸出不可 在庫

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タイトル CVDハンドブック 
著者 化学工学会 ／編集  
出版者 朝倉書店
出版年 1991.6
ページ数 800,18p
大きさ 22cm
一般件名 化学蒸着-便覧
NDC分類(9版) 571.6
内容紹介 CVDは気体原料から薄膜や微粒子などの固体を合成する技術の総称であり、プロセスのどこかに化学反応が関係する。まだ十分に体系化が進んでいないCVDを専門とした、はじめてのハンドブック。
ISBN 4-254-25234-X

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